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Ourstex 100FA能量色散型X射線熒光光譜儀的X射線管發(fā)射出初級X射線到樣品上，通過半導體探測器檢測樣品激發(fā)出的熒光X射線，從而對樣品元素進行無損定性和定量分析。半導體探測器采用帶電動冷卻系統(tǒng)的硅漂移探測器（SDD），無需液氮冷卻，結(jié)合數(shù)字信號處理器（DSP），使得測試結(jié)果具有高分辨力。為了提高分析性能，良好的光學激發(fā)系統(tǒng)使得半導體探測器達到了很高的能量分辨率和測量靈敏度。