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日本MSA 晶圓加熱載體

  • 產(chǎn)品型號(hào):PH-101
  • 更新時(shí)間:2023-12-19

簡(jiǎn)要描述:日本MSA 晶圓加熱載體
晶片溫度特性測(cè)試,用于安裝探頭的熱卡盤(pán) 玻璃卡盤(pán),基材電特性測(cè)試
數(shù)字溫度控制器

產(chǎn)品詳情

日本MSA 晶圓加熱載體

主要應(yīng)用。

晶片溫度特性測(cè)試,用于安裝探頭的熱卡盤(pán) 玻璃卡盤(pán),基材電特性測(cè)試

數(shù)字溫度控制器

通過(guò)一個(gè)一鍵式連接器連接到MSA工廠標(biāo)準(zhǔn)溫度控制器。 通過(guò)簡(jiǎn)單的操作可以立即進(jìn)行高度精確的溫度控制。 pcc100_sg

支持定制的卡盤(pán)模式

標(biāo)準(zhǔn)卡盤(pán)模式:如果將工件放在中央卡盤(pán)孔中,可提供通用尺寸(例如6英寸、4英寸、3英寸和6英寸的卡盤(pán))。 如果有其他卡盤(pán)模式(如卡盤(pán)位置的規(guī)格),可以定制。

卡盤(pán)表面 導(dǎo)電性/絕緣性/漏電性

卡盤(pán)表面有導(dǎo)電規(guī)格,如鍍金(最高200°C)和鍍鎳(最高400°C),也有絕緣規(guī)格,如礬土處理(400°C)和氧化鋁涂層。 卡盤(pán)面配備了一個(gè)GND端子,這樣就可以連接到測(cè)量設(shè)備的GND上,等等。

特征

image.png緊湊型晶圓卡盤(pán)加熱載體,高精度溫度控制

(±1.0%)

*如果需要更高精度類型的產(chǎn)品,請(qǐng)聯(lián)系我們。

低成本、薄型晶圓加熱載體

通過(guò)使用溫度控制器(單獨(dú)出售),可以進(jìn)行廣泛的溫度設(shè)置。 (室溫-200°C)。

可提供各種附加功能的定制。

定位銷、晶圓尺寸切換桿等。

 

日本MSA 晶圓加熱載體

 


半導(dǎo)體晶圓的加熱程序管控

各種  評(píng)價(jià)用界面、可以與您的設(shè)備相連接。



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   規(guī)格和定制


規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)




定制設(shè)置

溫度設(shè)置范圍

室溫―200℃

加熱板功率

200-400W

工作臺(tái)尺寸

φ 75~100mm

○(其他定制尺寸

工作臺(tái)材質(zhì)

、SUS

選配

晶圓切換功能、工作臺(tái)安裝板等

*關(guān)于其他精元尺寸,PH200,300系列可以接受定制對(duì)應(yīng)。

定制:○為可以為客戶定制需要的規(guī)格。








 

 

 
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